品名
大口径表面轮廓仪
型号
New View 8050
制造商
Zygo公司
所属单位
中国科学院上海光学精密机械研究所
主要功能
主要用于光学元件表面粗糙度及中频波面误差PSD2检测。可以检测1000x600mm口径以下的光学表面粗糙度。
技术指标
1、纵向扫描范围：150μm，可拓展到20mm；
2、纵向分辨率：＜0.1nm；
3、横向分辨率：0.36~9.5μm，与所选物镜有关；
4、最大数据点：307200，可选984064；
5、RMS重复性：＜0.01nm，RMS
6、台阶测量：准确度≤0.75%，重复性≤0.1%@1
设备现状
正常
收费标准
面议
管理员
白云波
联系方式
021-59962310，baiyunbo1987@163.com
设备照片
