品名
4吋633nm干涉仪
型号
DMST-633-75-C-FM-1
制造商
Zygo公司
所属单位
中国科学院上海光学精密机械研究所
主要功能
主要用于大口径平面光学元件中频第二段波面误差PSD2及小口径光学元件波面误差。可以检测小于100mm口径、对分辨率有较高要求的光学元件的透、反射波前及材料光学均匀性。
技术指标
1、透射标准镜：面形优于λ/20
2、反射标准镜：面形优于λ/20
3、干涉仪空腔精度：优于λ/10
4、干涉仪空腔重复性精度：优于λ/100
5、干涉仪空腔0.4mm-1~8.3mm-1空间频段的RMS（PSD2）：<0.5nm (有效口径>= 10mmx10mm)，测量重复性：< 0.5nm
设备现状
正常
收费标准
面议
管理员
白云波
联系方式
021-59962310，baiyunbo1987@163.com
设备照片
