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SurfaceSeer型TOF-SIMS主要由初级离子枪、延迟提取系统、电荷中和系统、TOF分析器、真空泵四个模块组成，同时增加了深度剖析、光学观测、化学地图和二次电子检测功能，具有：（1）单层表面信息分析；（2）全元素检测；（3）高灵敏度有机物识别、分析；（4）快速化学成像；（5）样品深度剖析等特点。SurfaceSeer型TOF-SIMS拥有功能强大的样品处理装置，提供各种样品支架，可装载不同厚度和直径的样品；能如同检测已知样品那样方便地检测未知样品；储存的数据可用于溯源性分析，允许数据分析和样品化学构成信息之间的交互提取、比较。
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