品名 |
聚焦离子束(Focused Ion Beam) |
型号 |
Auriga |
制造商 |
德国Carl Zeiss |
所属单位 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主要功能 |
聚焦离子束(FIB)在扫描电镜(SEM)的基础上,配备了离子束镜筒,可在纳米尺度利用离子轰击样品表面,实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺。它具有聚焦离子束(FIB)的功能外,还具有扫描电子显微镜(SEM)的成像功能。主要功能:TEM透射电镜样品制备—可以选择感兴区,制备相对较大的薄区,同时制备时间相对会缩短。制得的TEM样品可以直接用TEM透射电子显微镜观察,无需其它处理。SEM扫描电子显微镜结构分析—可以进行二次电子形貌分析、背散射称度分析、EDS能谱分析。微纳结构加工—Omniprobe纳米机械手、离子束切割等的配合下,可以进行各种微纳材料的搬运和加工。力学及电学性能测试——通过相应的附件,可以实现微纳结构材料的电学性能测试。 |
技术指标 |
1、加速电压:0.1V—30KV(SEM); 1-30kv(FIB); 2、放大倍数:12×—1000,000×(SEM); 300×—500000×(FIB); 12×—1000,000×(SEM); 300×—500000×(FIB); 3、分辨率:电子束1.0nm@15kV,1.9nm@1kV; 离子束优于2.5nm@30kV; 4、探针电流范围:4pA—20nA(SEM); 1pA—50nA(FIB) 5、x射线能谱探测器:硅漂移探头; 有效探测面积80mm2; 元素探测范围:B(5)~Am(95) |
设备现状 |
正常 |
收费标准 |
1600元/机时 |
管理员 |
陈惠锋 |
联系方式 |
0574- 86686165;chenhuifeng@nimte.ac.cn |
设备照片 |
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