聚焦离子束（Focused Ion Beam）

品名	聚焦离子束（Focused Ion Beam）
型号	Auriga
制造商	德国Carl Zeiss
所属单位	中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主要功能	聚焦离子束（FIB）在扫描电镜（SEM）的基础上，配备了离子束镜筒，可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺。它具有聚焦离子束（FIB）的功能外，还具有扫描电子显微镜(SEM)的成像功能。主要功能：TEM透射电镜样品制备—可以选择感兴区，制备相对较大的薄区，同时制备时间相对会缩短。制得的TEM样品可以直接用TEM透射电子显微镜观察，无需其它处理。SEM扫描电子显微镜结构分析—可以进行二次电子形貌分析、背散射称度分析、EDS能谱分析。微纳结构加工—Omniprobe纳米机械手、离子束切割等的配合下，可以进行各种微纳材料的搬运和加工。力学及电学性能测试——通过相应的附件，可以实现微纳结构材料的电学性能测试。
技术指标	1、加速电压：0.1V—30KV（SEM）； 1-30kv（FIB）； 2、放大倍数：12×—1000,000×（SEM）； 300×—500000×（FIB）； 12×—1000,000×（SEM）； 300×—500000×（FIB）； 3、分辨率：电子束1.0nm@15kV，1.9nm@1kV；离子束优于2.5nm@30kV； 4、探针电流范围：4pA—20nA（SEM）； 1pA—50nA（FIB） 5、x射线能谱探测器：硅漂移探头；有效探测面积80mm２；元素探测范围：B（5）~Am（95）
设备现状	正常
收费标准	1600元/机时
管理员	陈惠锋
联系方式	0574- 86686165；chenhuifeng@nimte.ac.cn
设备照片

附件下载：