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扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)

品名

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)

型号

EVO 18

制造商

Carl Zeiss

所属单位

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

主要功能

广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。

技术指标

1. 加速电压:200V-30kV,10V步进连续可调;

2. 放大倍数:5×~1000,000×,连续可调;

3. 分辨率:高真空二次电子像=3.0nm(30kV);

低真空背散射电子像=4.0nm(30kV);

4. 探针电流范围:0.5 pA~5μA,连续可调;

5. 聚焦工作距离:2mm~145mm;

6.可放置的最大样品尺寸:直径250mm,高度145mm;

7.X射线能谱探测器:硅漂移探头;有效探测面积20mm2;

元素探测范围:B(5)~Am(95)

设备现状

正常

收费标准

200/机时

管理员

魏安祥

联系方式

0574- 86685106;weiax@nimte.ac.cn

设备照片

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