品名
辉光放电发射光谱仪（Glow Discharge Optical Emission Spectrometer）
型号
GDA750HP
制造商
Spectruma Analytik GmbH
所属单位
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主要功能
用于渗碳渗氮材料、金属镀层、半导体、涂层的表面深度定性、定量分析
和金属材料成份分析。目前，仪器配置的定量分析方法如下：
●硅片或二氧化硅上CuInGaSe等深度分析；
●硅片或二氧化硅上SiC,TiB,VC,VN等深度分析；
●锂电池深度分析；
●钕铁硼材料深度分析；
●渗碳渗氮材料深度分析。
●钢铁材料成份定量分析：针对高、中、低合金钢和工具钢的定量分析方法。
技术指标
●光源：有DC光源（用于导体材料样品测试）和RF光源（用于含有非导体材
料样品测试），最大功率300W，2W可调；
●光栅：凹面全息光栅,焦距0.75米,2400线/mm；
●波长范围：119nm～800nm；
●分辨率：优于0.024nm；
●溅射速率： 2～5µm/min；
●深度剖析的范围：1nm～200µm；
●检出限：钢铁中C,S,P,N的检出限不大于5ppm。
设备现状
正常
收费标准
200/样（C、S：300/样）
管理员
朱丽辉
联系方式
0574-86685136；zhulihui@nimte.ac.cn
设备照片
