单位检索
关键词检索

场发射扫描电镜 (Field Emission Scanning Electron Microscope)

品名

场发射扫描电镜 (Field Emission Scanning Electron Microscope)

型号

S-4800

制造商

日本日立公司

所属单位

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

主要功能

用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析,主要用途如下:

1.金属、 陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等的观察;

2.材料的相分布和夹杂物形态成分的鉴定;

3.金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定;

4.纳米材料及其它无机或有机固体材料的粒度观察和分析 ;

5.进行材料表面微区成分的定性和定量分析。

技术指标

1.二次电子分辨率:1.0nm (15kV);

2.0nm (1kV); 催化剂(Pt on C)

1.4nm (1kV减速模式) Catalyst(Pt on C)

2.背散射电子分辨率:3.0 nm (15 kV)

3.加速电压:0.5~30kV

4.电子枪:冷场发射电子源

5.放大倍率:30~800,000倍

6.X射线能谱仪的元素分析范围:Be4~U92

设备现状

正常

收费标准

形貌分析:300元/机时                                                 

蒸碳:50元/次

镀金:100元/次

镀铂:150元/次

成分分析:加收50元/样(点分析不超过4个区域;线扫描不超过3条线;面分布不超过2个区域)

管理员

陈惠锋

联系方式

0574-86685106;chenhuifeng@nimte.ac.cn

设备照片

附件下载:
版权所有2013 中国科学院上海材料与制造大型仪器区域中心
牵头单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址:上海市长宁路865号 | 邮 编:200050 | 电话:021-62511070