多功能X射线光电子能谱 (Multifunctional X-ray Photoelectron Spectroscope)

品名

多功能X射线光电子能谱 (Multifunctional X-ray Photoelectron Spectroscope)

型号

AXIS ULTRA DLD

制造商

日本岛津公司

所属单位

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

主要功能

用于定性及半定量分析材料表面元素，分析材料表面价态、逸出功，观察材料表面元素分布形貌，在金属、合金、半导体、无机物、有机物、各种薄膜等许多固体材料的研究中都有很多成功应用的实例。主要用途如下： 

1.固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析,样品表面的微区选点分析,元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）；

2.固体样品表面的组成、化学状态分析，广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定；

3.对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包袱等微观机理研究；

4.分子生物化学以及三维剖析如界面及过渡层的研究等方面有所应用；

5.反映出分子的外壳层分子轨道的特性，测试逸出功等。

技术指标

1.X射线源： 15kV, 30mA(450W) 清洁的Ag 3d5/2光电子峰，强度单位: cps

2.XPS成像空间分辨率<3μm

3.紫外光电子能谱(UPS) 以表面清洁Ag4d在140 emV 分辨率下，灵敏度1,000,000 cps ，He I和 He II比例小于4：1

4.离子散射能谱(ISS)以表面清洁Au在FWHW<12eV下，灵敏度12,000cps/nA

5.低能量悬浮离子枪能量范围：50eV~5000eV，Ar离子枪在Ta2O5刻蚀速率40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV

6.扫描电子显微镜(SEM)场发射电子枪10kV，样品电流5nA下，分辨率<100nm

7.俄歇电子能谱测量Cu LMM峰在10nA束流，10kV束能，相对能量分辨率0.4%±0.05%下，灵敏度>50,000cps/nA，信噪比500：1

8.测试温度范围：-150℃~600℃

9.X射线能谱仪的元素分析范围：除H、He两种元素外的100多种元素（含量在0.1%以上）

设备现状

正常

收费标准

400元/机时

管理员

江柯敏

联系方式

0574-86685181；jiangkemin@nimte.ac.cn

设备照片