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电子束蒸发系统

品名

电子束蒸发系统

型号

MUE-ECO-EB

制造商

日本爱发科(ULVAC)

所属单位

宁波材料技术与工程研究所

主要功能

电子束蒸发镀各种金属薄膜

技术指标

高真空

设备现状

正常

收费标准

200元(除镀Pt,为300元)/次

管理员

张洪亮

联系方式

13586833049,zhanghl@nimte.ac.cn

设备照片

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