品名
混合离子束沉积设备
型号
P600
制造商
J&L Tech co., Korea
所属单位
宁波材料所
主要功能
可在所需多种基材上沉积功能性涂层（超硬、防腐、耐磨、耐高温氧化、自润滑等）与装饰涂层（黑色、红色、蓝色等）。基材种类涉及：金属、合金、塑料、陶瓷、纤维等。也可用于等离子体处理的材料表面改性。
技术指标
► 离子源: linear and end-hall ion beam, magnetron sputtering, PECVD
► 本底真空：<1.0×10-5Torr ► 沉积室尺寸：Φ600×600mm ► 偏压：DC bipolar pulse( ~350KHZ, ~600V),RF (13.56MHz, 2.5KW),
设备现状
正常
收费标准
时间，3000元/次
管理员
陈仁德
联系方式
13738872116，chenrd@nimte.ac.cn
设备照片
