品名
表面轮廓仪（台阶仪）
型号
Alpha-Step IQ
制造商
KLA-Tencor Corporation，USA
所属单位
宁波材料所
主要功能
Alpha-Step IQ 轮廓仪是一种计算机化的、高灵敏度的表面轮廓仪，可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。
技术指标
► 扫描长度：≤10mm；sputtering, DC sputtering. ► 垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm； ► 扫描速度：2 ~ 200μm/s； ► 最大样品厚度：21mm； ► 最大样品重量：1kg。
设备现状
正常
收费标准
时间，100/样（测试不超过3条线），超出部分以50/线计算
管理员
陈仁德
联系方式
13738872116，chenrd@nimte.ac.cn
设备照片
