品名
双室磁控溅射系统
型号
MS450
制造商
沈阳科友仪器
所属单位
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主要功能
在所需基材上沉积涂层产品，主要包括耐磨损涂层、自润滑涂层、抗腐蚀涂层、抗高温氧化涂层、透明导电涂层等。
技术指标
靶位设置：双靶
电源配备：多台进口电源，如射频电源，中频电源，直流电源。
靶材种类：多种靶材可选，如各种金属基材，陶瓷基材
加热温度：室温~800°C
沉积涂层厚度（常规）：10纳米 ~ 12微米
可用基材：金属，陶瓷，玻璃，高分子柔性材料等
设备现状
正常
收费标准
650元/炉
管理员
朱萍
联系方式
13867899841，zhuping@nimte.ac.cn
设备照片
