品名
金属有机化学气相沉积机AIX2400 G3
型号
AIX2400G3(SN201208219)
制造商
所属单位
苏州纳米技术与纳米仿生研究所（镀膜 加工平台）
主要功能
用于GaAs与InP基的III-V化合物半导体薄膜的外延生长。
技术指标
8x3"行星式反应室，管路配置为AsH3、PH3、SiH4、HCl、TMGa、TBAs、Ferrocene与DEZn。
设备现状
检修
收费标准
100/30分钟
管理员
联系方式
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