2015年4月9日 苏州纳米所
2015年4月7至8日，中国科学院条件保障与财务局组织专家在中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所对中国科学院科研装备研制项目“多功能高灵敏度微纳电子传感检测系统”进行了现场验收。验收专家组听取了项目工作汇报、财务报告、用户报告及测试报告，现场查验了研制装备的运行情况，审阅了相关文件档案及财务账目。过质询讨论，专家组一致认为该项目较好地完成了研制任务，主要技术指标达到或优于实施方案规定指标。并在此研制设备的支撑下取得了优异的科研成果，在《先进材料》等国际知名期刊发表了8篇SCI论文，申请了12项专利，相关专利获得许可转让。专家组一致同意“多功能高灵敏度微纳电子传感检测系统”研制项目通过验收。
该项目针对微纳电子传感器件对高灵敏度、高时间/空间分辨率和综合性的在线检测需求，创新性地研制了原位实时检测力学、化学、生物和光学等单一或复合量的高灵敏度多功能传感检测系统样机。该系统主要是以自主研制的高精度新型微纳电子传感器阵列和MEMS电容式微纳传感探针为核心，以化/生/光/力微纳米传感器表征测试平台、集成化分布式I/O 模块的电路和相关自动化控制软件系统融合组成。本系统的研制成功地通过“化/生/光/力－纳米尺度－信息”的学科交叉融合，在材料与器件的纳米尺度效应、界面效应等特性表征和微纳制造等微纳传感器基础研究方面取得突破，为微纳传感器件的研究提供理论、设计、表征和制造奠定基础，并形成了自主知识产权的检测技术，将成为推动微纳电子传感器研究的重要科研装备。
