品名
24吋正交偏振干涉仪
型号
MST-633-4-CVH-FM-1
制造商
Zygo公司
所属单位
中国科学院上海光学精密机械研究所
主要功能
主要用于大口径平面光学元件波面误差及材料均匀性检测；对偏振态有特殊要求的光学元件可用该仪器检测。可以检测小于600mm口径、对偏振态有一定要求的光学元件的透、反射波前及材料光学均匀性。
技术指标
1、透射标准镜：面形优于λ/12
2、反射标准镜：面形优于λ/10
3、干涉仪空腔精度：优于λ/10
4、干涉仪空腔重复性精度：优于λ/100
5、干涉仪空腔RMS重复性：由于λ/1000
设备现状
正常
收费标准
面议
管理员
白云波
联系方式
021-59962310，baiyunbo1987@163.com
设备照片
