品名
24吋激光平面干涉仪
型号
Ser 3635 Rev.01
制造商
Zygo公司
所属单位
中国科学院上海光学精密机械研究所
主要功能
主要用于大口径平面光学元件波面误差及材料均匀性检测，可以检测小于600mm口径光学元件的透、反射波前及材料光学均匀性。
技术指标
1、透射标准镜：面形优于λ/12
2、反射标准镜：面形优于λ/10
3、干涉仪空腔精度：优于λ/10
4、干涉仪空腔重复性精度：优于λ/100
5、干涉仪空腔RMS重复性：由于λ/1000
设备现状
正常
收费标准
面议
管理员
白云波
联系方式
021-59962310，baiyunbo1987@163.com
设备照片
