品名
磁过滤阴极弧复合溅射镀膜仪
型号
非标研制
制造商
NIMTE&JNL 合作研制
所属单位
宁波材料所
主要功能
可在多种不同衬底上，低温、大面积制备纳米结构超高性能的光滑ta-C, CrN, TiN, TiAlN 等硬质涂层和功能涂层（金属、化合物等）。
技术指标
► 等离子体源：Filtering vacuum arc, metal arc, HIPIMS sputtering, DC sputtering. ► 本底真空：<1.0×10-5Torr ► 沉积室尺寸：Φ600×600mm ► 基片台：6 axels with revolution and rotation (Speed :0～10rpm) ► 偏压：DC bipolar pulse( ~350KHZ, ~600V), RF (13.56MHz, 2.5KW)
设备现状
正常
收费标准
时间，3000元/次
管理员
陈仁德
联系方式
13738872116，chenrd@nimte.ac.cn
设备照片
