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主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜，AlN、SiO2等介质薄膜，一次可溅射两寸片5片，四寸片和六寸片1片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%。 为不影响他人工艺，以及有充足的时间对设备腔体进行清理维护，氧化物溅射工艺原则上只安排在每个月临近月末的周五、周六进行。且需提前一周提出申请，方便提醒其他用户。 每日18:00-19:00时为加班人员短暂休息和用餐时间，涉及到贵重金属的使用，工艺时需有工作人员在场，非工艺特别赶的情况，请尽量避开预约此段时间。 2小时起预约。请提前10分钟到场准备样品。过时15分钟视为工艺取消。
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